Microsystème opto-électro-mécanique

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Les microsystèmes opto-électro-mécaniques (ou MOEMS, sigle de l'anglais Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems[1]) forment un sous-ensemble des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems). Les MOEMS, fabriqués à partir de matériaux semi-conducteurs, sont capables de capter ou de manipuler des signaux optiques à une échelle très petite, utilisant des systèmes mécaniques ou électriques intégrés.

Schéma de l'unité de dispositif de micro-miroirs numérique, dessiné dans Inkscape

La technologie de fabrication des MOEMS est basée sur celle des circuits intégrés. Les matériaux utilisés sont le silicium, le dioxyde de silicium (SiO2), le nitrure de silicium et l'arséniure de gallium (GaAs).

Quelques exemples de MOEMS

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Voir aussi

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Bibliographie

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  • Allain Trouillet, Introduction à la Micro Optique, cours en ligne, 2008
    Présentation descriptive de l'historique, des principaux concepts de bases et des principales techniques de fabrication des microsystèmes optiques, Consortium « Optique pour l'ingénieur»
  • Allain Trouillet, Applications de la micro-optique, cours en ligne, 2008
    Présentation descriptive des applications principales des microsystèmes optiques classées à la fois en fonction des propriétés optiques mises en jeu et des domaines d'application envisagés, consortium « Optique pour l'ingénieur»

Articles connexes

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